Влияние легирования цинком на свойства моп-структур

Министерство образования и науки УКРАИНЫ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "Львовская политехника " Институт телекоммуникаций, радиоэлектроники и электронной техники Кафедра полупроводниковой электроники Курсовая работа Влияние легирования цинком на свойства МОП-структур. Выполнил: Студент группы ФБЭ-61 Ревула Р. Л. Научный руководитель: старший преподаватель., Логуш А. И. Консультант по экономической части: доц. Мороз Л. Г. Консультант по охране труда доц. Яцюк Р. А. ЛЬВОВ-2002 Содержание Введение 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР 1.1. Методы выращивания пленок термического SiO2. 1.2. Основные свойства диоксида кремния и границ раздела с полупроводником и металлом.

  1. . Геттерирования дефектов в технологии полупроводниковых приборов.

2. Методика эксперимента 2.1. Методика выращивания пленок термического SiO2 с одновременным легированием в процессе роста. 2.2. Определение параметров технологического процесса.

  1. Методика исследования дефектности диэлектрических пленок.

2.4. Методика измерения характеристик систем Si-SiO2. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ. 3.1. Исследование пористости пленок термического SiO2. 3.2 Взаимосвязь структурного совершенства монокристаллической кремниевой подложки и пливокSiO2 ... 3.3. Гетеруюча действие цинка. Подробнее «Влияние легирования цинком на свойства моп-структур»

Капитальный ремонт станка пм-3 часть 3

3. Испытания станка после ремонта. 3.1. Проверка на геометрическую точность и наладка машины. После ремонта важно технологической операцией является регулирование его частей для обеспечения правильного взаимодействия.





Что проверяется Метод проверки Отклонение, мм
допустимо фактическое
Прямолинейность образуючих роликов На цилиндрическом поверхность ролика вдоль контрольной линейки и его оси с мерного плитками. Зазор между роликом и линейкой замеряется щупом. 0,25 на длине 1000 мм




Что проверяется Метод проверки Отклонение, мм
допустимо фактическое
Радиальное биение роликов Индикатор устанавливается на станину так, чтобы его мерительный шлиф касался верхней части ролика. Ролик приводится в обороты. Измерение проводится посередине и по двум краям ролика. 0,15





Что проверяется Метод проверки Отклонение, мм
допустимо фактическое
Параллельность осей приводных роликов Штихмаслом замеряются расстояния между шейками смежных роликов 0 , 25 на длине 1000 мм.

Подробнее «Капитальный ремонт станка пм-3 часть 3»

Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления

Курсовая работа Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления Реферат Пояснительная записка к дипломному проекту содержит страниц, 9 таблиц, 6 рисунков, 2 приложения, 12 источников. Объект проектирования — диод ДЛ553-2000. Метод проектирования — технологически расчетный. Дипломный проект состоит из четырех разделов. В общем разделе описаны общие сведения о приборе ДЛ 553-2000, литературный обзор по теме дипломного проекта и назначение операции напыления при использовании в полупроводниковом производстве. Технологический раздел содержит расчет параметров полупроводниковой структуры, определение последовательности операций, разработку комплекта технологической документации с использованием ЭВМ, методику и результаты эксперимента, характеристики оборудования, используемого на участке, требования вакуумной гигиены на участке напыления. В разделе организации и экономики производства проведен расчет трудоемкости изготовления прибора на операции напыления, количества рабочих мест, численности рабочих участка, годового фонда оплаты труда, в последнем разделе приведены технико-экономические показатели участка. Раздел четвертый это разработка вопросов по охране труда, техники безопасности, безопасности жизнедеятельности, противопожарных мероприятий и решения вопросов экологии на участке напилення. Подробнее «Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления»

Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления часть 4

Определяем программу запуска изделий Nзап; шт. Nзап. = Nвип. /Кв. г. , (13) где Nвип — годовая программа выпуска изделий; шт. Кв. г. — Коэффициент выхода годных. Nзап. = 3000 / 0,92 = 3261 Определяем трудоемкость годового объема производства по операциям Тзап Тзап = (tшт * Nзап) / 100 (14) где tшт — норма времени на изготовление 1 изделия, ч. Тзап = (0,45 * 3261) / 100 = 14,7 Результаты расчета приведены в приложении А (таблица А1). Вычисляем общую трудоемкость годового объема производства за операция-ми Тобщ. Тобщ. = Тдов. + Тзап (15) где Т дов. — Трудоемкость подкачки операции до нормативного коэффициента, которая определяется по формуле: Т дов = (Fеф — Тзап) * К, (16) где К — коэффициент подкачки (0,8 — 0,95); Fеф — эффективный фонд времени работы оборудования, который определяется по формуле: Fеф = * Крем * h, (17) где Дк-Дв-ДСВ — дни календарные, выходные; tзм — продолжительность смены, 8:00; tп. св — количество часов перед праздничных сокращений рабочего дня, ч; Крем — коэффициент ремонта оборудования (0,88 — 0,96); h — количество смен в сутки. Fеф = * 0,9 * 1 = 1804 Тдов = (1804 — 14,7) * 0,8 = 1431 Тобщ = 1431 + 14,7 = 1446,7 Определяем расчетное количество рабочих мест врозь, шт. врозь = Тобщ / (Fеф * КВН), (18) врозь = 1446 / (1804 * 1) = 0,8 Вычисляем коэффициент загрузки оборудование Кз = врозь / Вприйн (19) где Вприйн — принятое количество рабочих мест по операции, шт. Кз = 0,8 / 1 = 0,8 Трудоемкость, количество рабочих мест, коэффициент загрузки оборудования предоставлено в таблице А2 приложение А. 3.2 Расчет численности работников участка Потребность в кадрах планируется по программе выпуска на данном предприятии. Подробнее «Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления часть 4»

Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления часть 3

Силовые полупроводниковые приборы выделились в особую группу полупроводниковых-видникових приборов со своими задачами и проблемами. Силовые полупроводниковые приборы занимают ведущее место в электро-технической промышленности и активно влияют на другие отрасли промышленности: ма-шинобудування, железнодорожный транспорт, энергетика, определяют научно-технический и социальный прогресс нашего государства. 1. Общий раздел 1.1 Краткие сведения о приборе ДЛ553 полупроводникового диода называется прибор с двумя выводами, принцип действия которого основан на использовании свойств электронно-дырочного перехода или поверхностного потенциального барьера кристалла полупроводника. Полупроводниковый диод лавинного типа — это диод, для рассеивания в течение ограниченного промежутка времени импульса мощности в области пробоя обратной ВАХ. Рисунок 1- Обратная характеристика лавинный пробой возникает в результате ударной ионизации нейтральных атомов кремния быстрыми носителями заряда при напряженности поля, недостаточных для разрыва ковалентной связи. Лавинные диоды изготавливаются, как правило, на основе кремния более высокого качества, чем обычные исправляя диоды. Основным достоинством лавинных диодов является то, что они позволяют существенно упростить элементы защиты от перегрузки в схемах преобразователей, особенно в случаях большого количества последовательного соединения диодов. Подробнее «Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления часть 3»

Исследование процесса напыления металлического контакта методом магнетрона распыления часть 2

При работе с газами запрещается: — работать с негерметичной газовой системой; — пользоваться вентилями с неисправной резьбой; — курить вблизи газовой системы; — обслуживать газовую систему руками, инструментом и одеждой, что замазаны. К работе с газами допускаются лица, достигшие 18 лет и прошедшие инструктаж по технике безопасности. Газовые системы должны быть удалены от электрокоммуникаций и других источников возможного искрообразования на расстояние 0,5 1,5 метров. Газопроводы на всем протяжении должны иметь следующее окраску: кислородные — голубое, азотные — желтое, аргоновые — черное. Длина соединительных шлангов для подачи газов в печи должна быть не более 1,5 м, шланги должны плотно натягиваться на штуцера оборудования и закрепляться механическими хомутами. 4.1.3 Требования безопасности перед работой Перед тем как начать работу — осмотреть рабочее место, убедиться в нала-согласованные оборудования, инструмента, и тому подобное.
Удаление вирусов
А также изоляции, розеток, убедиться, что в рабочей зоне нет посторонних предметов. Проходить по цеху надо только по установленным проходам. Не начинать работу без предварительного ознакомления с последующей работой и без инструктажа мастера. Убедитесь, что при выполнении ра боты вы не создаете помеху другим работникам. Нельзя начинать работу без спецодежды и средств индивидуальной защиты. 4.1.4 Требования безопасности во время работы Нельзя работать в темное время суток или в помещении без естественного освещения. Необходимо выполнить только порученную работу и не передавать другим лицам без приказа руководителя. При всех работах, которые сопровождаются отлет осколков, искр необходимо предохраняться очками. Под ногами пра-тающих не должно быть материала, заготовки, готовых изделий, или отходы произ-водства. Регулировка, наладка, а также замена частей электро — и пневмо-инструмента во время работы не разрешается. Не входить на другие производственные деляг-ки и помещения, если это не вызвано необходимостью. Нельзя использовать самодельные и бытовые электроприборы без специального на то разрешения. 4.1.5 Требования безопасности после окончания работы. Убрать рабочее место, собрать детали. Освободить проход. Не забыть выключу-ти оборудование, приборы, свет. Если работа не закончена, а не впитывать временные ограждения, плакаты. Чистка оборудования и рабочего места проводить за помощи веника и специальных щеток. Приложить руководителю в выявленных неполад десятках или нарушениях в работе оборудования, приборов. 4.2 Противопожарные мероприятия Большое внимание на участке напыления уделяют пожарной профилактике. При возникновении пожаров или взрывов, которые вызывают большие убытки, возможны ожоги и случаи с людьми. Поэтому профилактика пожаров — одно — частный средство предупреждения травм. Мероприятия по пожарной профилактике могут быть эффективными только при условии строгого выполнения технологического режима, правил эксплуатации, ремонта оборудования. Пожаром называется неконтролюеме горение вне специального очага, в результате которого может быть нанесен материальный ущерб. Каждый пожар начинает ется с возгорания или самовозгорания отдельных материалов или конструктивных эле-ментов. Поэтому необходимо знать огнестойкость материалов и конструктивных эле-ментов, их пожарной опасности, которая характеризуется склонностью к возгоранию и само-возгорания. Для оценки пожарной угрозы технологического производства необходимо знать, какие огнеопасные вещества или смеси и в количестве используют на производстве. В ходе технологического процесса осуществляют протирания рабочего места и оборудования этиловым спиртом, который относится к легковоспламеняющимися жидкостями. Источником воспламенения и взрыва могут быть водородные печи. В производстве широко применяют электрооборудования, где в результате коротких замыканий и перегрузок может возникнуть пожарная угроза. Производство по степени взрывоопасности следует отнести к высшей категории. По каждой производственной участка на предприятии закреплен ответст-дальний по пожарной безопасности. Им является руководитель подразделения данного участка. В цехе создана пожарно-техническая комиссия, возглавляемая руководителем цеха или его-Мисник, который повседневно решает проблемы пожарной безопасности. Все работающие на производстве должны соблюдать установленный противопожарный режим, правильно хранить материалы и изделия, осторожно пользоваться огнем, иметь первичные средства пожаротушения в готовности, по оконча-делению работы отключат, электроприборы и очищать от производственных отходов рабочее место, курить в отведенных местах. Для каждого цеха предприятия разработаны противопожарные инструкции, поведение и обязанности работников цеха при возникновении пожара: вызов пожарной команды, остановка технологического оборудования, использование средств пожаро-тушения, эвакуация горючих веществ и других материальных ценностей. В целях эффективной борьбы с пожаром, в случае ее возникновения, цеха составлены следующие меры: — составлен план эвакуации людей и оборудования, как для всего цеха, так и для отдельных участков; — оборудование размещено так, чтобы не загораживать проходы и проезды, минимальная ширина прохода 1 м; — количество эвакуационных выходов менее двух при площади около 250-300 м; — ширина выходов и путей эвакуации 2 м, их удельный пропускная способность 50 чел / мин; — выделены отдельные помещения для хранения пожароопасных материалов обеспеченные противопожарным инвентарем; — предусмотрено наличие наружных пожарных лестниц и свободных подъездов к зданию цеха; — для предотвращения опасности поражения молнией предусмотрено молния-отвод. Выбор способа тушения пожара зависит от его характера, вида огнетушащего вещества и средства пожаротушения. Наиболее распространенная огнетушащее вещество — вода, пена, порошковые смеси, песок и др. Производственные помещения оснащении первичными средствами пожаротушения — пожарные краны, огнетушители и др. Для тушения пожаров электроустановок, находящихся под напряжением, используют углекислотные огнетушители УО-2, УО-5, УО-8. Для тушения пожаров горючих и легкозапалюючихся жидкостей, используют пенные огнетушители ОП-5 или ОХП-10. 4.3 Решение вопросов экологии на участке напыления В настоящее время проблема загрязнения окружающей среды стоит на пер-вом месте. Каждое производство наносит большой вред окружающей среде. В полупроводниковом производстве используется большое количество химических веществ и соединений, которые через сточные воды и атмосферу наносят вред природе, поэтому законодательством установлены нормы, которые предприятии не должны превышать. Отработанные материалы, то есть остатки химического происхождения, сливают в специальные канализации, которые ведут к станции нейтрализации. Отходы проходят комплекс работ по нейтрализации и обезвреживанию на очистных сооружениях. Отходы периодически сливаются в накопителе. Это необходимо для обеспечения определенной концентрации отходов на входе промышленных стоков в окислительной сооружении, которая не должна превышать следующие нормы: фтор — 50 мг / л; железо — 1500мг / л; медь — 500 мг / л; свинец — 10 мг / л; аммиак-20 мг / л;

Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока

Работа 4. Исследование магнитной цепи постоянных токов 4.1 Цель работы Изучить методы и приборы измерения магнитной индукции и магнитного потока и исследовать вебер-амперные характеристики магнитных цепей постоянного тока. 4.2 Краткие теоретические сведения Часть электротехнического устройства, предназначенного для создания в его рабочем объеме магнитного поля заданной интенсивности и конфигурации, называют магнитным кругом. Магнитное круг состоит из элементов, которые возбуждают магнитное поле (катушки, в которых протекает ток, постоянные магниты) и магнитопроводов, по которым замыкается магнитный поток. Элементы, которые возбуждают магнитное поле по аналогии с электрической цепью, называют магнитно-движущими силами (м. р.с.) или намагничивая силами. Магнитопроводы выполняют роль «проводников» магнитного потока подобно проводникам электрического тока в электрических цепях. Магнитные свойства веществ определяются величиной магнитной проницаемости. Она является физической константой. В зависимости от величины магнитной проницаемости все вещества делятся на диамагнетики (медь, свинец, ртуть, алюминий и другие,); парамагнетики (кислород, углерод, некоторые соли кобальта и другие,) и ферромагнетики (железо с примесями, никель и другие, где Гн / м — магнитная проницаемость вакуума). Подробнее «Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока»

Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока часть 3

— данные измерений заносят в табл.1. Затем опыт повторяют еще четыре раза с шагом напряжения на катушке возбуждения, где U к max — максимально допустимое напряжение, которое соответствует току ИК max, указанном на панели лабораторной установки. Таблица 1












№ с / п Измерить Вычислить
U к ИК Ф В Н F
В А Вс Вс Тл А / м А Гн / м 1 / Гн Гн
1
2
3
4
5 U к max Iк. max

На основании экспериментальных данных и параметров (Wк, S, lср), указанных на панели установки, высчитывают магнитный поток, индукцию, напряженность, намагничивая силу, магнитную проницаемость, магнитное сопротивление и индуктивность катушки возбуждения. По данным расчетов построить зависимости B = f (H), и Lк = f (Iк). 4. Установить между якорем и крайними стержнями магнитопровода немагнитные прокладки толщиной мм. Плотно прижать якорь в ига. Вставить щуп с датчиком Холла в воздушный промежуток между средним стержнем и якорем. Затем провести пять измерений по методике, описанной в п.4, дополняя опыты измерением магнитной индукции Миллитесламетры. Данные измерений занести в табл.2. Подробнее «Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока часть 3»

Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока часть 2

Расчет или экспериментальное исследование магнитной цепи позволяет определить такой очень важный параметр электромагнитных устройств как индуктивность катушки , / 5.8 / Исследование магнитных цепей связано с измерением магнитного потока и магнитной индукции. Измерение магнитного потока основывается на использовании явления электромагнитной индукции. рис.5.4. На рис.5.4. изображена электрическая схема измерения магнитного потока индукционно-импульсным методом. Она состоит из катушки с числом витков Wк, сопротивления R д и баллистического гальванометра с внутренним сопротивлением Rг. Если катушку поместить в магнитное круг, а затем быстро удалить из него, то изменение магнитного потока, пронизывающего катушку, повлечет возникновение в ней ЭДС . /5.9/ Под действием ЭДС Eк в кругу будет протекать ток , /5.10/ где R = Rк + R д + Rг — общее сопротивление цепи катушки до тех пор, пока происходит изменение магнитного потока, пронизывающего катушку. Этот ток будет импульсным и оценить его можно по количеству электрических зарядов (носителей тока) за время изменения потока от Ф до нуля, то есть можно записать, что . /5.11/ Заряд q, протекая через баллистический гальванометр, приведет отклонения его стрелки. Итак, степень отклонения стрелки гальванометра будет мерой магнитного потока. Подробнее «Исследование вебер-амперных характеристик магнитных цепей постоянного тока часть 2»

Ионизация и радиоактивность в биосфере

Ионизация и радиоактивность в биосфере Объективные явления природы — ионизация и радиоактивность — всегда существовали и существуют в биосфере, но мы их не можем воспринять непосредственно нашими органами чувств. Лишь на рубеже XIX и ХХ вв. ученые впервые обнаружили их существование, а в наше время проблемы милитарной ядерной безопасности, безопасности АЭС стали глобальными проблемами человечества. Явление ионизации можно кратко определить как процесс разделения (преобразования) электрически нейтральных атомов в положительно заряженные ионы и свободные электроны, происходит под влиянием внешних энергетических факторов. Другими словами — это отрыв электрона (или электронов) от атома. Итак, по второму закону термодинамики такой процесс с поглощением энергии и увеличением энтропии (неупорядоченности системы атомов). Из последнего следует, что ионизация есть (в общем определении) негативным фактором воздействия на живую природу, что и обязывает нас рассмотреть это явление подробнее. Источников ионизации атомов составляющих атмосферы, а также живой и неживой вещества биосферы, несколько. Прежде всего это ионизирующее излучение. Не каждый излучения может быть ионизирующим. Подробнее «Ионизация и радиоактивность в биосфере»